5月9日音信，据集微网报谈，“据报谈，上海微电子装备(集团)股份有限公司(SMEE)自主研发的系列28nm浸没式DUV光刻机，近日完成首批批量拜托，投入量产工艺考据阶段。”在该音信发布之后，坐窝激发了业内的热议。但是，芯智讯在进程与光刻机及晶圆制造企业干系东谈主士琢磨后发现，该著作里面老实容似乎存在不少事实问题。1、集微的报谈并未给出具体的信源，只说“据报谈”，到底是据哪家委果的媒体报谈，根底没提。这不合适这种新闻的严肃性。

2、报谈称“2026年1月，上海微电子在长三角半导体产业峰会上，初次官宣SSA800系列拆开全面量产。”

但是，这个所谓的“长三角半导体产业峰会”根底莫得任何巨擘媒体的干系报谈，也查不到具体的举办时代、方位、主理方及与会嘉宾和企业。更别说什么“上海微电子官宣”了，上海微电子的官方从未追究深切过上述音信。

天然网上巧合找到本年1月一些自媒对于“长三角半导体产业峰会”的音信，但是也一起王人是与“上海微电子官宣SSA800系列量产”绑定的信息。那时，笔者也计议注到过这个音信，但是合计是“小作文”，市集也有过一轮基于这个音信炒作光刻机主见股。

3、报谈还指出“2026年3月，在SEMICON China2026外洋半导体博览会上，上海微电子初次公开展示了该机型。”

但是，芯智讯在SEMICON China2026外洋半导体博览会有去过上海微电子的展台，现场根底就莫得展示所谓的样机。况且在展会时代和展会拆开后的一段时代，也根底莫得干系媒体报谈此事。

△芯智讯在SEMICON China2026展会上海微电子展台拍摄的像片

4、报谈称“SSA800系列接受193nm ArF浸没式光刻时代，单次曝光原生复旧28nm制程，乐鱼体育中国2026世界杯官网可通过多重曝光工艺持重拆开 14nm 乃至更先进的工艺坐褥。建造套刻精度搁置在2.3~2.5nm，量产良率持重在90%~95%区间，每小时可贬责150片晶圆。”

据芯智讯了解，SSA800实际上即是近几年市集一直据说的国产“28nm光刻机”，是一款193nm ArF浸没式光刻机，对方向是ASML TWINSCAN NXT:1950i。尔后者的专用卡盘套刻精度为2.5nm，混杂匹配套刻精度为3.5nm，每小时可贬责200片晶圆。是以，说SSA800系列套刻精度搁置在2.3~2.5nm，每小时可贬责150片晶圆，应该是大差不差。

不外，说SSA800系列的“量产良率持重在90%~95%区间”似乎是有点离谱了。因为光刻机自身并莫得所谓的“量产良率”的说法。

一位光刻机厂商里面东谈主士对芯智讯直言：“这是假音信，光刻机那处来的良率。”即便说的是在产线上替代ASML光刻机后芯片最终产出的量产良率也很夸张。

要知谈台积电的28nm是在2011年量产的，之后经验较长的良率爬坡阵痛期。2012年上半年，英伟达和高通王人曾公开挟恨良率不及、产能吃紧。到2012年8月，中国台湾媒体财征引供应商音信称良率已升迁至超越80%。

一位国内晶圆代工场里面东谈主士告诉芯智讯，当今SSA800系列并未投入国内的买卖化晶圆厂，似乎仍是在“ICRD”进行测磨真金不怕火证。是以何来的量产批量拜托，何来的“90%~95%”量产良率？

期盼国产光刻机赢得龙套，是每一个关注中国科技发展的东谈主最朴素的情谊。咱们渴慕看到“卡脖子”清单上的神情被一项项划掉，也渴慕听到国产建造在先进制程上赢得龙套的音信。但是，这种渴慕越是激烈，就越应该守住感性的底线。造作的、自嗨的音信，伤害的是公众对真实发达的判断力，也轻率了产业链高下流一步一个脚印攻坚的严肃性。果然的解围，从来不需要靠造作的“放卫星”来诠释我方，时代会给出最敦朴的谜底。

剪辑：芯智讯-浪客剑乐鱼体育中国2026世界杯官网